குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், "குறைபாடற்ற நிலை" தேவைகள் கடுமையாக்கப்பட்டு வரும் பின்னணியில், லிஜி 9-அங்குல குறைந்த குளோரின் நைட்ரைல் கையுறைகள், அவற்றின் மிகக் குறைந்த அயனி எச்சம் மற்றும் உயர் தூய்மை செயல்திறன் காரணமாக, வேஃபர் செயலாக்கம் மற்றும் சிப் பேக்கேஜிங் நிலைகளில் இன்றியமையாத பாதுகாப்பு உபகரணங்களாக மாறியுள்ளன. சிறப்புச் செயலாக்கத்தின் மூலம், கையுறையின் குளோரின் அளவு ≤50ppm எனக் கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது—இது 100ppm என்ற தொழில்துறை தரநிலையை விட கணிசமாக அதிகமாகும். இது, வேஃபர் பரப்புகளில் குளோரைடு அயனிகள் இடம்பெயர்வதால் ஏற்படும் அரிப்பு அபாயங்களைத் திறம்படத் தடுத்து, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் நுண்ணிய மாசு கட்டுப்பாட்டிற்கான கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
லித்தோகிராபி செயல்முறைகளின் போது, கையுறையின் தூய்மையானது போட்டோரெசிஸ்ட் பூச்சின் துல்லியம் மற்றும் ஒளி வெளிப்பாட்டு முடிவுகளை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. கிளாஸ் 100,000 தூய்மையான அறைகளில் தயாரிக்கப்பட்டு, லேசர் மூலம் தூசி அகற்றப்படுவதால், இந்தத் தயாரிப்பு ஒரு சதுர அங்குலத்திற்கு 0.2 துகள்களுக்கும் குறைவான மேற்பரப்புத் துகள் உமிழ்வைக் காட்டுகிறது—இது ISO கிளாஸ் 3 தூய்மையான அறைத் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது. இது வேஃபர் மேற்பரப்புகளில் நுண்துகள்கள் ஒட்டுவதைத் திறம்படத் தடுக்கிறது, இதன் மூலம் லித்தோகிராபி குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது. இதன் 9-அங்குல நீள வடிவமைப்பு, மணிக்கட்டிலிருந்து உள்ளங்கை வரை முழுமையான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. ஒரு மீள் தன்மையுள்ள கைப்பட்டை அமைப்புடன் இணைந்து, இது செயல்பாட்டு நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதி செய்வதோடு, கையுறையின் திறப்பில் தூசி உதிர்வதைத் திறம்படத் தடுக்கிறது. இதன் மூலம், லித்தோகிராபி செயல்முறைகளில் உள்ள மாறும் தூய்மையான சூழல்களுக்கான கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
எச்சிங் மற்றும் அயன் இம்ப்ளாண்டேஷன் போன்ற அதிக அரிக்கும் வினைப்பொருட்களை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளின் போது, இந்தக் கையுறைகள் விதிவிலக்கான இரசாயன எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகின்றன. ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம் மற்றும் பாஸ்போரிக் அமிலம் போன்ற பொதுவான குறைக்கடத்தி வினைப்பொருட்களில் 24 மணிநேர மூழ்கடிப்பு சோதனைக்குப் பிறகு, அவற்றில் வீக்கமோ அல்லது விரிசலோ ஏற்படவில்லை, மேலும் எடை மாற்ற விகிதம் 0.8% க்கும் குறைவாக உள்ளது. இது இயக்குபவர்களுக்கு நம்பகமான கை பாதுகாப்பை வழங்குவதோடு, கையுறை சேதத்தால் ஏற்படும் வினைப்பொருள் மாசுபடும் அபாயங்களையும் நீக்குகிறது. விரல் நுனிகளில் 0.02 மிமீ லேசர் மூலம் பொறிக்கப்பட்ட வழுக்காத தன்மை கொண்ட மேற்பரப்புகள் உள்ளன, இது 12-அங்குல வேஃபர்களைக் கையாளும்போது உராய்வை 35% அதிகரிக்கிறது மற்றும் வேஃபர் நழுவும் அபாயத்தை 60% குறைக்கிறது. இது பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு நிலைத்தன்மைக்கு இடையே ஒரு சமநிலையை ஏற்படுத்துகிறது.
தற்போது SEMI F57 தரநிலைகளுக்குச் சான்றளிக்கப்பட்ட இந்தக் கையுறைகள், SMIC மற்றும் ஹுவா ஹாங் செமிகண்டக்டர் உள்ளிட்ட முன்னணி வார்ப்பகங்களின் பெருமளவு உற்பத்தித் தளங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இவை, கைத் தொடர்பினால் ஏற்படும் வேஃபர் கழிவு விகிதங்களை 38% குறைத்து, தூய்மையான அறைப் பாதுகாப்பைச் செயல்பாட்டுத் திறனுடன் சமநிலைப்படுத்துவதில் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான சிறந்த தேர்வாகத் தங்களை நிலைநிறுத்துகின்றன.
பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர்-11-2025