வேஃபர் லித்தோகிராபி செயல்முறைக்கு சரியான ஒருமுறை பயன்படுத்தும் கையுறைகளை எவ்வாறு தேர்ந்தெடுப்பது?

குறைக்கடத்தி வேஃபர் உற்பத்தியில், லித்தோகிராஃபி செயல்முறை என்பது சிப் உற்பத்தியைத் தீர்மானிக்கும் ஒரு முக்கியமான, துல்லியமான படியாகும். வேஃபர் தயாரிப்புச் செயல்முறையில் "ஒளி வெளிப்பாடு மற்றும் பிம்பமாக்கலின் மையமாக" இருப்பதால், லித்தோகிராஃபி முழு பணி ஓட்டத்தையும் உள்ளடக்கியது—ஸ்பின் கோட்டிங், ஒளி வெளிப்பாடு, உருவாக்கம், பொறித்தல் மற்றும் ஈரமான சுத்தம் செய்தல் உட்பட—மேலும் இது சுற்றுச்சூழல் தூய்மை, அசுத்தக் கட்டுப்பாடு, நிலைமின்னியல் பாதுகாப்பு மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றில் மிகவும் கடுமையான தேவைகளை விதிக்கிறது. மைக்ரான் அளவிலான தூசித் துகள்கள், சுவடு அயனி இடப்பெயர்வு மற்றும் தற்காலிக நிலைமின்னியல் வெளியேற்றங்கள் அனைத்தும் நேரடியாக போட்டோரெசிஸ்ட் குறைபாடுகள், பேட்டர்ன் சீரற்ற நிலை, வேஃபர் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் மின்சுற்றுகளில் மைக்ரோ-ஷார்ட் சர்க்யூட்களை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது முழு வேஃபர்களையும் நிராகரிக்க வழிவகுத்து, பெரும் உற்பத்தி இழப்புகளுக்கு வழிவகுக்கும். பல ஃபேப்கள் (FABs) தங்கள் போட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறைகளின் உற்பத்தியை மேம்படுத்தப் போராடுகின்றன. உபகரணங்கள், செயல்முறைகள் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் அளவுருக்கள் அனைத்தும் சரியாக இருக்கும்போது கூட, முக்கியமற்றதாகத் தோன்றும் கை பாதுகாப்புப் பொருட்களிலேயே பெரும்பாலும் தடை ஏற்படுகிறது. சாதாரண கிளாஸ் 1,000 அல்லது தொழில்துறை தரத்திலான சுத்தமான அறை கையுறைகள், போட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் மிக உயர்ந்த தரங்களுக்கு முற்றிலும் பொருத்தமற்றவை.

லித்தோகிராபி செயல்முறையில் சாதாரண தூய்மைக் கையுறைகளின் பயன்பாடு ஏன் கடுமையாகத் தடைசெய்யப்பட்டுள்ளது?

தூள் எச்சம் போட்டோரெசிஸ்ட் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது.

அதிகப்படியான கந்தகம் மற்றும் குளோரைடு அயனிகள் வேஃபர்களில் உள்ள மின்சுற்றுகளை அரிக்கின்றன.

நிலை மின்னூட்டம் கட்டுப்பாட்டை மீறியதால், துல்லியமான ஒளிக்கல்லச்சுத் தகடு ஒன்று செயலிழந்தது.

உதிர்தல் மற்றும் உரிதல் காரணமாக, உற்பத்திச் செயல்பாட்டில் அந்நியப் பொருள் குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன.

LjieClean கிளாஸ் 100 பவுடர் இல்லாத நைட்ரைல் கையுறைகள்

செமிகண்டக்டர் வேஃபர் உற்பத்தித் துறையில் கவனம் செலுத்தி, லித்தோகிராபி செயல்முறையில் உள்ள சிக்கல்களைத் தீர்க்கும் வகையில், நாங்கள் பிரத்யேகமான கிளாஸ் 100 பவுடர் இல்லாத, குறைந்த வாயுக்களை வெளியிடும் நைட்ரைல் கையுறைகளை உருவாக்கியுள்ளோம். இவை முழு வேஃபர் லித்தோகிராபி செயல்முறையின் உற்பத்தித் தேவைகளைச் சரியாகப் பூர்த்தி செய்வதால், எண்ணற்ற ஃபேப்கள் மற்றும் வேஃபர் பேக்கேஜிங் மற்றும் சோதனை நிறுவனங்களுக்கு இவை விரும்பப்படும் பாதுகாப்பு நுகர்பொருட்களாகத் திகழ்கின்றன.

1. டைகுளோரைடு அடிப்படையிலான தூள் இல்லாத செயல்முறை: ஒளி அச்சிடல் செயல்முறையில் தூள் மாசுபடுதல் இல்லை.

குறைக்கடத்திக்கென பிரத்யேகமான குளோரினேஷன் சுத்திகரிப்பு செயல்முறையைப் பயன்படுத்துவதால், இந்த முறையில் செயல்முறை முழுவதும் டால்க், சோள மாவு அல்லது சிலிக்கான் எண்ணெய் போன்ற துணைச் சேர்க்கைகளைச் சேர்க்கத் தேவையில்லை. இது செயல்முறை முழுவதும் சீரான பயன்பாட்டை உறுதிசெய்து, போட்டோரெசிஸ்ட்டை அதன் மூலத்திலேயே மாசுபடுத்தும் தூள் துகள்கள் மற்றும் சிலிக்கான் எண்ணெய் எச்சங்களை நீக்குகிறது. இதன்மூலம், போட்டோலித்தோகிராபி செயல்முறையில் உள்ள அந்நியத் துகள் குறைபாடுகளை இது முழுமையாகச் சரிசெய்கிறது.

2. பல கட்ட அதிதூய நீர் கொண்டு கழுவுதல் மூலம் குறைந்த கந்தகம், குறைந்த குளோரின் மற்றும் குறைந்த அயனி உள்ளடக்கம் அடையப்படுகிறது.

உயர் தூய்மை கொண்ட நீரைக் கொண்டு பலமுறை ஆழமாக அலசுவதன் மூலம், மூலப்பொருள் சேர்க்கைகள் மற்றும் மேற்பரப்பு எச்சங்கள் அகற்றப்படுகின்றன. கந்தகம், குளோரின் மற்றும் கரையக்கூடிய உலோக அயனிகளின் உள்ளடக்கம் கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுவதால், குறைந்த ஆவியாகாத எச்சம் (NVR) ஏற்படுகிறது. இது வேஃபர் ஆக்ஸிஜனேற்றம், பூச்சு அரிப்பு மற்றும் பொறித்தல் குறைபாடுகளைத் தடுக்கிறது, இதனால் இந்தக் கையுறைகள் 8 மற்றும் 12 அங்குல வேஃபர்களுக்கான கடினமான லித்தோகிராபி செயல்முறைகளுக்கு முழுமையாகப் பொருந்தக்கூடியதாக அமைகின்றன.

3. நிலைமின்னியல் உணர்திறன் கொண்ட வேஃபர்களைப் பாதுகாக்க, அச்சில் மாற்றியமைக்கப்பட்ட ESD பாதுகாப்பு

தற்காலிக ஸ்ப்ரே பூச்சுகளைக் கொண்ட, வணிக ரீதியாகக் கிடைக்கும் நிலைமின் எதிர்ப்பு கையுறைகளைப் போலல்லாமல், கோனார்ஸ் ஒரு நைட்ரைல் அடிப்படைப் பொருளின் மீது அச்சிலேயே நிலைமின் எதிர்ப்பு மாற்றியமைக்கும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இது நிலையான மற்றும் சீரான மேற்பரப்பு மின்தடையை உறுதிசெய்கிறது; மேலும், போட்டோரெசிஸ்ட்டின் சிதைவையும் துல்லியமான வேஃபர் சுற்றுகளுக்கு சேதத்தையும் ஏற்படுத்தக்கூடிய நிலைமின் குவிப்பைத் தடுப்பதற்காக, செயல்முறை முழுவதும் நிலைமின்சாரத்தை தொடர்ச்சியாக சிதறடிக்கிறது. இது எக்ஸ்போஷர் மற்றும் டெவலப்மென்ட் போன்ற கோர் லித்தோகிராஃபி படிநிலைகளுக்கு ஏற்றது.

4. நெகிழ்வான மற்றும் கச்சிதமான பொருத்தம், மைக்ரான் அளவிலான துல்லியமான செயல்பாடுகளுக்கு ஏற்றது

இந்தக் கையுறையின் பொருள் நெகிழ்வானது மற்றும் கையின் வளைவுகளுக்கு ஏற்ப பொருந்துகிறது. விரல் நுனிகளில் வழுக்காத அமைப்புடன் கூடிய வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ள இது, எடை குறைவாகவும் பருமனற்றதாகவும் இருப்பதால், ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி வேஃபர் கையாளுதல், உபகரணப் பிழைதிருத்தம் மற்றும் துல்லியமான ஆய்வு போன்ற நுட்பமான செயல்பாடுகளுக்கு மிகவும் ஏற்றதாக அமைகிறது. இது தடையற்ற இயக்கத்தை அளித்து வழுக்குவதைத் தடுக்கிறது, இதன் மூலம் கைகளால் செய்யப்படும் செயல்பாடுகளின் போது தற்செயலாக ஏற்படும் மோதல்களால் உண்டாகும் சேதங்களைத் திறம்படக் குறைக்கிறது. மேலும், இது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி கரைப்பான்கள் மற்றும் லேசான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது, மேலும் நீண்டகாலப் பயன்பாட்டின் போதும் பழமையடையாமலும் கிழியாமலும் நீடித்து உழைக்கிறது.

5

✅ இரட்டை அடுக்கு வெற்றிட முத்திரையிடப்பட்ட பேக்கேஜிங் இரண்டாம் நிலை மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது.

தயாரிப்பு செயல்முறை முழுவதும், இறுதித் தயாரிப்புகள் கிளாஸ் 100 தூய்மை அறையில் இரட்டை அடுக்கு வெற்றிட முத்திரையிடப்பட்ட பேக்கேஜிங்கைப் பயன்படுத்தி பேக் செய்யப்படுகின்றன. இது சேமிப்பு மற்றும் போக்குவரத்தின் போது அவற்றை தூசி மற்றும் ஈரப்பதத்திலிருந்து முழுமையாகப் பாதுகாக்கிறது. பேக்கேஜைத் திறக்கும்போது இரண்டாம் நிலை மாசுபடுதல் எதுவும் ஏற்படுவதில்லை, இதனால் அவற்றை கிளாஸ் 100 லித்தோகிராபி தூய்மை அறைகளில் உடனடியாகப் பயன்படுத்த முடிகிறது.